ウェハ中文是什么意思

• 上下２点支持の構造であるため，スイング式やウェハー式に比べ，高い耐久性と安全性?静音性に優れる。
  由于采用上下两点支撑的结构，与转动式或薄片式相比使用寿命长，安全可靠，噪音非常小。
• 板厚２００μｍのシリコンウェハの場合，エッチング時間は９５分であり，残留シリコン厚が２０μｍ以下になるまで行った。
  对于板厚２００μｍ的硅晶圆，蚀刻时间为９５分钟，在残余硅厚度达到２０μｍ以下之前进行。
• まず両面酸化膜の形成された，表面が（１００）面のシリコンウェハ両面にフォトレジストをスピンコーターを用いて塗布する。
  首先，在两面形成了氧化膜，表面为（１００）面的硅晶圆的两面使用旋转涂布机涂布光刻胶。
• しかし，この方式は図７（ｂ）に示すようにウェハーの一部分のみがマスクに当たり，ウェハーが光軸に対してわずかにずれやすい。
  但是，如图７（ｂ）所示，使用该方式时，晶圆只有一部分接触掩膜，晶圆相对于光轴容易偏移。
• しかし，この方式は図７（ｂ）に示すようにウェハーの一部分のみがマスクに当たり，ウェハーが光軸に対してわずかにずれやすい。
  但是，如图７（ｂ）所示，使用该方式时，晶圆只有一部分接触掩膜，晶圆相对于光轴容易偏移。
• 土産物屋がバカンス客向けに５?１０ＤＨ（約６０?１２０円）程度で，ピーナッツやウェハースをサルの餌として売っていた。
  土特产屋以５～１０ＤＨ（约６０～１２０日元）左右向观光客出售花生以及脆饼，作为猴子的饲料。
• 抵抗率が０．３３１?０．４６０Ωｃｍの低抵抗率Ｓｉウェハーを用いて，Ｓｉ上に電着レジストを直接電着することを試みた。
  使用电阻率为０．３３１～０．４６０Ωｃｍ的低电阻率Ｓｉ晶圆，在Ｓｉ上尝试了直接电沉积电沉积光刻胶。
• ＳＯＩウェハは錘，梁，シリコン支柱，上部ギャップを形成するために，２０ｗｔ％ＴＭＡＨ水溶液によって両面からエッチングされる。
  为了用ＳＯＩ晶圆形成重锤、梁、硅支柱、上部间隙等结构，研究人员用２０ｗｔ％ＴＭＡＨ水溶液从两面对其进行了刻蚀。
• 充填後の基板を光学顕微鏡により観察した結果，ウェハ面内における充填歩留りは，作製した全てのサンプルで９９％以上と大きく向上した。
  通过光学显微镜观察填充后的基板的结果，晶圆面内的填充成品率在制作的全部样品中达到了９９％以上，有大幅提高。
• 図７（ａ）にＣＡＮＯＮ　ＰＬＡ５０１のウェハーチャックと光軸の関係，図７（ｂ）に一般的なウェハーチャックと光軸の関係を示す。
  图７（ａ）显示的是ＣＡＮＯＮ　ＰＬＡ５０１的晶圆吸盘与光轴的关系，图７（ｂ）显示的是普通晶圆吸盘与光轴的关系。