gims中文什么意思

能值理论的绿色集成制造系统

例句与用法

1. Keywords : gims , ion source , anode layer , sputtering , tin , ion plating ， medium frequency , pulsed dc
   中文关键词：气离溅射、离子源、阳极层流、溅射、氮化钛、离子镀膜、中频、脉冲直流。