ウェハハンドラ中文什么意思

硅片传送装置；硅片装卸装置

• ウェハ:    薄片；圆片；晶片；干胶片；晶圆
• ハンドラ:    处理的人；处理机；处理程序
• ウェハハンドリング:    晶片处理