エッチングガス中文什么意思

发音:   用"エッチングガス"造句
腐蚀气体
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例句与用法

  1. 新規エッチングガスを用いた半導体微細加工プロセス
    采用新型蚀刻气体的半导体细微加工工序
  2. エッチングガスとしてCF4/Ar/H2,CF4/Ar,CF4/H2の混合ガスを用い,放電電力を100W,放電前ガス圧力を10Paとした。
    蚀刻气体使用CF4/Ar/H2、CF4/Ar、CF4/H2的混合气体,放电功率为100W,放电前气压力为10Pa。

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