エッチングプロセス中文什么意思

腐蚀工艺；腐蚀处理

• エッチング:    蚀刻法，蚀镂术，铜版术，蚀刻画
• プロセス:    (英) process 过程;工序; ...
• プラズマエッチングプロセス:    等离子腐蚀工艺

例句与用法

1. 半導体誘電エッチングプロセスからのペルフルオロ化合物（ＰＦＣ）排出量を減少させる代替案　費用最小化を図りつつ環境責任を果たすこと
   减少半导体导电腐蚀工序排放的全氟化合物（ＰＦＣ）的代替方案　达到费用最小化，并履行保护环境的责任
2. 本論文では，半導体の誘電エッチングプロセスに焦点を合わせ，ＰＦＣ排出量を推定するボトムアップモデルを用い，ＰＦＣ排出量削減の代替案を比較検討した。
   在此论文中，将焦点集中到半导体导电腐蚀工序，使用推测ＰＦＣ排放量的颠倒模型，比较讨论了降低ＰＦＣ排放量的代替方案。
3. ガス供給装置と環境調和型半導体エッチングシステム，ＵＬＳＩの層間絶縁膜エッチングプロセス，地球温暖化防止ガスを用いたチャンバークリーニングプロセスを解説した。
   介绍了供气装置和环境协调型半导体浸蚀系统，ＵＬＳＩ的层间绝缘体膜蚀刻工艺，用于制止全球变暖的反应室清洗工艺。
4. 本研究では，ＤＲＩＥ技術をさらに発展させた基盤技術とするために，従来のＤＲＩＥ技術における高アスペクト比化の限界要因を分析した上で，その要因を回避する新しいエッチングプロセスを発案し，その効果を検証した。
   在本研究中，为了使ＤＲＩＥ技术成为更加进步的基础技术，研究人员在分析以往的ＤＲＩＥ技术的高长宽比化极限因素的基础上，提出避免其要素的新蚀刻工艺，对其效应进行了验证。