反应性溅射腐蚀的日文

リアクティブスパッタエッチング
はんのうせいスパッタエッチング

• 反应溅射腐蚀装置:    はんのうせいスパッタエッチングそうち
• 反溅射腐蚀:    ぎゃくスパッタエッチング
• 反应性离子腐蚀:    リアクティブイオンエッチング