はんのうせいスパッタエッチング中文什么意思

• 反应性溅射腐蚀

• はんのう:    反 応 【名】 【自サ】 (化学)反应;(对刺激的)反应;反响;效果
• せい:    性
• スパッタエッチング:    溅射蚀刻（法）；溅射蚀刻
• はんのうせいスパッタエッチングそうち:    反应溅射腐蚀装置
• ぎゃくスパッタエッチング:    反溅射腐蚀