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ドライフィルム中文是什么意思

发音:  
用"ドライフィルム"造句"ドライフィルム"中国語の意味

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  • 干膜

例句与用法

  • そこで,パターンAのリソグラフィではドライフィルムレジストをラミネートすることで凹凸の存在するウエハーへのレジスト塗布を実現した。
    为此,研究人员在图案A的光刻中,通过对干薄膜光刻胶进行层压,实现了在存在凹凸的晶圆上的光刻胶涂布。
  • しかし,パターンAのリソグラフィに用いたマスクは前述したように【式1】の位置あわせ誤差を許容する設計で作製したが,本研究で用いたドライフィルムレジストは膜厚が7μmと厚かったために回折光によりパターンが【式2】よりも大きく広がってしまったので,FIB装置による修正を行った。
    但是,如上所述,图案A的光刻使用的掩膜是按照允许【式1】的对准误差的设计制作的,因为本研究使用的干薄膜光刻胶的膜厚大,为7μm,所以在衍射光的作用下,图案将大于【式2】,因此,图案通过FIB装置进行了修正。
用"ドライフィルム"造句  
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