ウェハ中文什么意思

薄片；圆片；晶片；干胶片；晶圆

例句与用法

レジストの側壁が垂直に形成できた理由は，光軸に対してウェハーチャックが垂直な事である。
光刻胶的侧壁能够垂直地形成的理由在于晶圆吸盘与光轴垂直。
なお，ＤＥＨＰのほかに，シリコンウェハーに吸着しやすい物質とされるＤＢＰ，ＤＥＨＡが検出された。
另外，除ＤＥＨＰ之外，也检测到容易吸附到硅胶管上物质ＤＢＰ、ＤＥＨＡ。
まず均一なレジスト膜を平面ウェハにスピンコートして用意し，位相シフトマスクから離して露光した。
首先，准备旋转涂布了均匀光刻胶膜的平面晶圆，使其离开相移掩膜，进行了曝光。
そのため，ウェハ内の充填歩留り（孔総数に対する良好な孔数の割合）は，５０％程度と大変低かった。
因此，晶圆内的填充成品率（良好孔的数量相对于孔总数的比例）非常低，为５０％左右。
最後に各電極を分離するためにガラス?１の上面を浅くダイシングした後に，ウェハはチップに分割される。
最后，以分离各电极为目的，在玻璃－１的上表面进行浅划片后，晶圆被分割为芯片。