projection mask aligner中文什么意思

• 投影光刻机

• projection:    n. 1.射出，投掷，发射，喷射。 2.投射；投影，投影 ...
• mask:    n. 1.假面具，伪装，掩蔽物；面罩；防毒面具(＝ ga ...
• mask aligner:    掩模对准器; 掩模光刻机; 掩模套准器
• projection aligner:    投影对准曝光器; 投影光刻机; 投影式对准曝光装置
• submicron mask aligner:    亚微米掩模对准器

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projection mask aligner перевод：установка совмещения и проекционного экспонирования