イオンビームエッチング造句

• 白金薄膜のＴＣＲと抵抗値の測定に用いたサンプルは，図１に示した膜構成のシリコンウエハ上に写真製版を施し，イオンビームエッチングにてパターニングを行って形成した。
  白金薄膜的ＴＣＲ与在电阻值的测量中使用的样品是通过在图１所示的膜结构的硅晶圆上进行照相制版，再利用离子束刻蚀的方法进行图案的形成。