エッチング装置造句
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- 次に,誘導結合型プラズマイオンエッチング装置(STS社)内に試料を移し,異方性エッチングを行った。
然后,向电感耦合等离子体蚀刻装置(STS公司)内转移试料,进行了各向异性蚀刻。 - エッチング精度の再現性,均一性を向上するため薬液温度,濃度管理に加えてウエハ回転機構を備えたエッチング装置を使用した。
为了提高蚀刻精度的再现性、均匀性,在药液温度、浓度管理的基础上,还使用了配备晶圆旋转结构的蚀刻装置。 - 我々は,シリコン酸化膜(SiO2)の犠牲層をエッチングする無水フッ酸(HF)とメタノール(CH3OH)の混合ガスと,多結晶シリコン(Poly?Si)の犠牲層をエッチングする二フッ化キセノン(XeF2)ガスを個別に処理チャンバーに導入できる犠牲層ドライエッチング装置を開発した。
我们开发出了能够分别向处理室导入蚀刻硅氧化膜(SiO2)牺牲层的无水氟酸(HF)和甲醇(CH3OH)的混合气体,蚀刻多晶体硅(Poly-Si)牺牲层的二氟化氙(XeF2)气体的牺牲层干法蚀刻装置。 - 用エッチング装置造句挺难的,這是一个万能造句的方法
其他语种
- エッチング装置的日语:蚀刻装置