光刻成像造句

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基于部分相干成像理论和分数傅立叶变换滤波等理论，我们提出了利用分数傅立叶域滤波改善光刻成像质量的波前工程新思想和新方法。
但目前关于厚层抗蚀剂光刻方面的研究，主要局限于实验工艺的改进上，对其图形传递机理的研究做得很少，现有的曝光、显影模型均未考虑厚层抗蚀剂光刻成像的一些特殊属性，一定程度上制约了厚胶光刻术的深入发展和应用。
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其他语种

光刻成像的英语：optical patterning

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