反応性イオンエッチング造句
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- 深掘り反応性イオンエッチング
- 深堀りRIE(Deep RIE)とは、反応性イオンエッチング (RIE)の一つで、アスペクト比の高い(狭く深い)反応性イオンエッチングの事をいう。
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- 半導体の製造工程におけるエッチングの際には反応性イオンエッチング (reactive ion etching, RIE) によるドライエッチングを行う。
- ドライエッチングの種類には、反応ガス中に材料を曝す方法(反応性ガスエッチング)とプラズマによりガスをイオン化?ラジカル化してエッチングする反応性イオンエッチングなどがある。
- 用反応性イオンエッチング造句挺难的,這是一个万能造句的方法
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