结果显示化学沉积co - ni - b 、 co - fe - b工艺在稀土元素( ce 、 la 、 y 、 dy ) 、能量(超声波、磁场)介入后,沉积过程、合金成分、镀层形貌结构和性能都有显著变化,表现在:镀液的阴极极化过电位和极化度降低,沉积速度提高;镀层的结合力、表面质量改善;镀层中过渡族元素的含量增加,轻元素硼的含量降低,同时证实了稀土元素与过渡族元素共沉积的可能性;镀层的显微结构由非晶态向微晶和多晶态转变;镀层的显微硬度与耐磨性提高,力学性能优化;镀层的矫顽力降低;磁导率提高;镀层的磁化强度在能量(超声波、磁场)和轻稀土元素ce 、 la介入后提高,重稀土元素y介入后降低。
本文采用正交实验和回归分析的方法,确定了稀土化学沉积co - ni - b - re 、 co - fe - b - re多元钴基软磁薄膜的工艺流程、镀液配方和实验参数,并通过对合金镀层的成分含量测定、形貌结构分析和力学磁学性能评估,研究了稀土元素、超声波、磁场介入化学沉积多元钴基软磁薄膜工艺后,对合金成分、结构和性能的作用机制。