微系统结构造句

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揭开序幕的是巴西数学家Ｍ．裴雪托（Peixoto）在苏联数学家30年代的工作的基础上所做的二维常微系统结构稳定性的研究。
随着MEMS技术的持续进步及其应用领域不断拓展，微器件和微系统结构复杂性与功能多样性的趋势日趋明显，非硅材料的应用需求也日益增加，由此带动非硅MEMS材料、微细加工及其应用技术的全面发展，正逐渐形成与目前占主导地位的硅基MEMS相对应的非硅MEMS技术体系。
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其他语种

微系统结构的英语：microsystem organization

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