气相外延生长造句

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一种利用有机金属热分解反应进行气相外延生长薄膜的化学气相沉积技术。
在气相外延生长中所利用的基本化学过程有：岐化反应，化学还原热分解等。
气相外延生长常使用高频感应炉加热，衬底置于包有碳化硅、玻璃态石墨或热分解石墨的高纯石墨加热体上，然后放进石英反应器中。
70年代先后从事YVO3：Eu红色电视荧光材料，场致发光固体夜视器件，磷化硼、氮化镓和硫化锌等宽禁带单晶薄膜气相外延生长及蓝色发光器件研究。
本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。
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其他语种

气相外延生长的英语：vapor phase epitaxial growth

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