等离子化学气相沉积造句

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工艺和等离子化学气相沉积工艺都在这里诞生。
电池的减反射膜为增强等离子化学气相沉积的氮化硅膜，呈深蓝色。
1.国家“八五”重点科技攻关项目“等离子化学气相沉积硬膜技术工业化研究”（1993-1997），己于1997年4月通过国家级鉴定。
其中物理气相沉积主要包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜及离子镀膜等技术;化学气相沉积主要有化学气相渗涂工艺;物理化学气相沉积多用等离子化学气相沉积技术。
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