エッチング中文是什么意思

• 電池反応を利用したエッチング廃液からの銅回収
  利用电池反应从蚀刻废液中回收铜
• 前述の条件でのエッチングレートは毎分約０．２μｍであり，エッチング深さは高い精度で制御できる。
  在上述条件下的蚀刻速率为每分约０．２μｍ，蚀刻深度能够以高精度进行控制。
• 前述の条件でのエッチングレートは毎分約０．２μｍであり，エッチング深さは高い精度で制御できる。
  在上述条件下的蚀刻速率为每分约０．２μｍ，蚀刻深度能够以高精度进行控制。
• Ａｌを電子ビーム蒸着し両面パターニングを行い，ＲＩＥを用いたＯ２プラズマエッチングを行う（ｅ）。
  电子束蒸镀Ａｌ，进行双面图案形成，使用ＲＩＥ进行Ｏ２等离子蚀刻（ｅ）。
• 従って，寸法に大きな違いのある複数の構造を，同時に適切にエッチングすることは一般に極めて困難である。
  因此，一般来说，同时对尺寸上差异较大的多个结构进行适当的蚀刻极其困难。
• 特に，シリコン酸化膜のエッチングには，４９％フッ酸水溶液から発生するフッ酸（ＨＦ）蒸気を用いた。
  特别是，在硅氧化膜的蚀刻中，采用的是４９％氟酸水溶液产生的氟酸（ＨＦ）蒸气。
• 次にエッチング方法を工夫して，ストレート形状のランセット，先端角度が様々に異なるランセットを作製した。
  然后，通过改进蚀刻方法，制作了直棒形状的刺血针、顶端角度各异的刺血针。
• この微小構造体は，その直下の犠牲層と呼ばれる薄膜材料をアンダーカットエッチングすることによって作製される。
  该微小结构体是通过对其正下方的称为牺牲层的薄膜材料进行侧蚀制作的。
• 今回得られた知見に基づいて，今後ＳｉＮの変質を抑制するＨＦベーパーエッチング手法について検討する。
  根据此次得到的发现，我们今后将就抑制ＳｉＮ变质的ＨＦ气相蚀刻方法进行研究。
• 逆に大きな開口に対して適切なエッチング条件では，微細な幅を保ったままエッチングを進めることは難しい。
  相反的，在适合于大开口的蚀刻条件下，在保持微细宽度的同时进行蚀刻非常困难。