エッチング中文是什么意思

• 逆に大きな開口に対して適切なエッチング条件では，微細な幅を保ったままエッチングを進めることは難しい。
  相反的，在适合于大开口的蚀刻条件下，在保持微细宽度的同时进行蚀刻非常困难。
• 上述のメモリを対象とした加工技術では１μｍ以下の膜に対して主にレジストをマスクとしてエッチングを行う。
  上述以内存为对象的加工技术对于１μｍ以下的膜，主要以光刻胶为掩膜进行蚀刻。
• アスペクト比の低いエッチング部分にピラーを形成させることなく全体のエッチングが完了していることが確認できる。
  可以确认，小长宽比的被蚀刻部分在没有形成柱的情况下完成了整体的蚀刻。
• アスペクト比の低いエッチング部分にピラーを形成させることなく全体のエッチングが完了していることが確認できる。
  可以确认，小长宽比的被蚀刻部分在没有形成柱的情况下完成了整体的蚀刻。
• 次に，誘導結合型プラズマイオンエッチング装置（ＳＴＳ社）内に試料を移し，異方性エッチングを行った。
  然后，向电感耦合等离子体蚀刻装置（ＳＴＳ公司）内转移试料，进行了各向异性蚀刻。
• 次に，誘導結合型プラズマイオンエッチング装置（ＳＴＳ社）内に試料を移し，異方性エッチングを行った。
  然后，向电感耦合等离子体蚀刻装置（ＳＴＳ公司）内转移试料，进行了各向异性蚀刻。
• その後カンチレバーパターンを転写し，Ｓｉ酸化物をエッチングし加熱素子付きカンチレバーの形状を作製する。
  之后，复制悬臂梁图案，对Ｓｉ氧化物进行蚀刻，制作带加热元件的悬臂梁的形状。
• さらに，ＣＹＴＯＰはプラズマエッチングにより容易にパターニングを行うことができるなどといった特徴を持っている。
  并且，ＣＹＴＯＰ具有能够通过等离子蚀刻，轻易地进行图案形成的特征。
• もちろん，デバイス製造者にはストッパー層で表面ダメージなくエッチングを確実に止める技術が必要である。
  当然，要求器件制造者掌握通过限制器层在不损伤表面的情况下，确实停止蚀刻的技术。
• エッチング深さは２３０μｍである。
  蚀刻深度为２３０μｍ。