トーションバー造句
- この対策を施した結果,工程中のトーションバーの破損はほぼ0%となることが確認された。
经确认,采取该对策后,工序中扭杆的断裂基本达到了0%。 - 結合部分にRをつけることにより応力は分散され,トーションバー周辺の実効的な強度は上がる。
通过在结合部分添加R,应力将被分散,扭杆周围的实际强度将会提高。 - また,この壁は工程中に薬液や空気の流れによって発生するトーションバーへの負荷を低減する効果もある。
另外,该侧壁还具有降低在工艺中因药液和空气的流动而在扭杆产生负荷的效果。 - 特にトーションバー部分のように強度の低い部分に鋭角な構造があると,応力が集中しそこを起点に亀裂が発生する。
特别是在像扭杆部分这种强度低的部分有锐角结构时,应力将集中,以该处为起点产生裂纹。 - 強度低下については図7に示す様にトーションバー固定部分に50μm程度のRをつけることで破損する確率を低減した。
关于强度下降,如图7所示,通过在扭杆固定部分添加50μm左右的R,断裂的概率得到了降低。 - 具体的には図7に示す壁をトーションバーの横に設けてDRIE時のサイドエッチを防止することで構造の安定化を図った。
具体如图7所示,本方法通过把侧壁设置于扭杆旁边来防止DRIE时的侧面蚀刻,实现了结构的稳定化。 - 本質的な対策としてはプロセスに使用する装置のウエハ面内均一性を上げることであるが,構造設計の観点からはトーションバーの加工ばらつきが出にくい構造にすることで補助的な対策をうった。
根本对策是提高工艺使用装置在晶圆面内的均匀性,但是,从结构设计的角度出发,采用了利用不易出现扭杆加工误差的结构的辅助对策。 - It's difficult to see トーションバー in a sentence. 用トーションバー造句挺难的