フォスフィン造句

"フォスフィン"是什么意思

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半導体がシリコンの場合、普通ボロン、リン、砒素など純度の高いドーパント原子であり、ドーパント原子のボロンは３フッ化ボロン（BF3）ガス、リンはフォスフィン（PH3）ガス、砒素はアルシン（AsH3）ガスが一般的に使われている。
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