溅射离子泵造句

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微型复合溅射离子泵的设计研究
真空技术.溅射离子泵验收规范
实验测试了微型溅射离子泵的各项性能指标，为进一步研制提供了依据。
-研发与制造旋片式真空泵往复式真空泵冷阴极溅射离子泵爪式无油真空泵等系列产品。
摘要本文介绍了小抽速微型溅射离子泵的性能测试系统和参考机械行业标准确定的测试方法，探讨了测量结果误差来源。
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其他语种

溅射离子泵的英语：sputter ion pump
溅射离子泵的日语：スパッタイオンポンプ

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